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方亮镀膜机扩散泵温度要多少

发布时间: 2022-08-12 14:52:50

‘壹’ 真空镀膜中扩散泵为什么预热

扩散泵不是需要预热、而是需要加热,这是扩散泵的工作原理,跟处于什么工艺下进行没有关系。
扩散泵属于增压泵,单独是不可以使用的,必须串联机械泵,如旋片泵、滑阀泵等。
扩散泵的工作条件是全压强小于10pa才可以开启加热炉。
扩散泵没有电机,是通过电炉加热使油蒸发,然后冷凝的一个往复运动,期间将空气通过机械泵排出,这是扩散泵的工作原理。
一边情况下我们建议:机械泵的全压强真空度达到2pa以内,开启电炉,后经过40-80分钟的加热扩散泵进行正常的工作。(加热期间真空度也在提升。开始阶段如5-10分钟时真空度可能下降)
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‘贰’ 真空扩散泵的最佳温度是多少温度超过多少扩散泵油会氧化

扩散泵温度一般设定为220度,但最佳是多少这要看你用的扩散泵油的品质
扩散泵一般为真空状态,不会被氧化,如果需要维修保养建议温度在60度以下操作

‘叁’ 镀膜机扩散泵随时都可以关机吗温度到多少才可以关

扩散泵中的油在真空中加热到沸腾温度(约为200度)产生大量的油蒸气,这时候突然停机容易造成扩散泵油返油,造成真空室油污染,建议等温度冷却到50度左右再关机

‘肆’ pvd磁控溅射镀膜机的一般工作温度为多少

要看具体镀膜的类别和基材的情况而定,一般温度在0~500之间都是可控的

‘伍’ 上海繁枫扩散泵最佳温度是多少

真空镀膜扩散泵建议用丹信(昕锐)节能的电磁加热扩散泵,可以买电磁加热控制器自己改造,丹信(昕锐)节能会全程技术指导。也可以根据实际的工况需要定制全套系统,电磁加热扩散泵相对于传统的机器,热效率更高,节电率明显,温度控制更加精准,值得推荐

‘陆’ 镜片真空镀膜需要多少度真空度 温度

镀膜时的工作真空度一般控制在 100mPa-600mPa;
如果是塑胶镜片,镀膜时的温度根据不同塑胶材料的耐温性可控制在80-200度为宜。

‘柒’ 真空镀膜机各泵工作顺序,原因,原理

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

原理是将扩散泵油加热至沸腾,气化的油雾通过喷油嘴向四周喷射,扩散泵的四周有冷却水管或者水套,将喷射的油雾冷却液化流下至泵的底部循环。如果上半部分热的话说明冷却不好,会向真空室返油,那就是不正常的现象了,说明冷却不好,原因可能是水压不够或者水管内有阻塞。

(7)方亮镀膜机扩散泵温度要多少扩展阅读:

蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。

对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。

在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位,约为100A),真空镀膜的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内,也就是说对于薄膜的光学特性来说,真空镀膜没有任何障碍。

溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld,组分均匀性容易保持,而原子尺度的厚度均匀性相对较差(因为是脉冲溅射),晶向(外沿)生长的控制也比较一般。

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